微納制造與測量技術(shù)教育部工程研究中心暨天津市微納制造技術(shù)工程中心（簡稱MNMT），依托于天津大學(xué)精密儀器與光電子工程學(xué)院、精密測試技術(shù)及儀器國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室、微納制造與測試研究所，主要從事微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）、超精密微納加工、微納測量與裝備等微納制造技術(shù)的產(chǎn)業(yè)化工作。
在微機(jī)電系統(tǒng)方向，MNMT以薄膜體聲波諧振技術(shù)為核心，在MEMS濾波器、振蕩器、傳感器前沿研究與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用方面，取得突破性進(jìn)展。打造了國內(nèi)高校唯一集設(shè)計(jì)、加工、封裝、測試于一體的MEMS實(shí)驗(yàn)線，與知名企業(yè)建立了深入的產(chǎn)學(xué)研合作，引入外部資本創(chuàng)立了專業(yè)企業(yè)。
在超精密微納加工方向，MNMT專注于光學(xué)自由曲面加工、硬脆性材料復(fù)雜曲面加工、聚焦離子束納米加工、精密微注塑、壓鑄技術(shù)等方面的研究與開發(fā)。在前沿科技領(lǐng)域開展創(chuàng)新性研究，獲取具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的創(chuàng)新成果，培養(yǎng)和凝聚創(chuàng)新性人才，構(gòu)建高水平實(shí)驗(yàn)技術(shù)和國際學(xué)術(shù)交流平臺(tái)。為高校、院所、企業(yè)提供高難度加工服務(wù)，服務(wù)國內(nèi)外單位逾百家，技術(shù)水平躍居國際前列。
在微納測量與裝備方向，MNMT致力于新型、高端微納尺度測量技術(shù)及相關(guān)儀器系統(tǒng)的研究，在微結(jié)構(gòu)光學(xué)測試技術(shù)（微視覺、反射差分光譜、顯微干涉、X射線三維顯微成像等）和掃描探針測試技術(shù)等方面取得了系列化的創(chuàng)新成果。自主研制成功多套微結(jié)構(gòu)幾何量和機(jī)械量光學(xué)測試系統(tǒng)和原子力顯微鏡，解決了超薄膜生長實(shí)時(shí)監(jiān)測、跨尺度表面形貌及相關(guān)幾何量精密測量、MEMS三維耦合運(yùn)動(dòng)特性測量、亞微米級(jí)三維透視顯微成像等一系列國際性測量難題，技術(shù)水平在國內(nèi)處于領(lǐng)先地位。
MNMT擁有20位教授、副教授與30位工程師構(gòu)成的科研-產(chǎn)業(yè)化協(xié)同團(tuán)隊(duì)，支持中心在新一代信息技術(shù)和高端裝備制造等戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域取得了長足發(fā)展，在先進(jìn)制造、微電子、儀器與傳感、材料、生物、巖石礦物、國防等多個(gè)前沿和重點(diǎn)領(lǐng)域拓展了關(guān)鍵應(yīng)用，有效推動(dòng)我國微納制造領(lǐng)域科學(xué)研究與產(chǎn)業(yè)化水平的提升。